伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校的研究人员推出了一种人工智能技术，通过使原子力显微镜（AFM）能够观察到比探针尖端更小的材料特征，从而大大提高了原子力显微镜（AFM）的性能。这一突破首次提供了超越传统分辨率限制的真正三维轮廓，有望彻底改变纳米电子开发和材料研究。

原子力显微镜（AFM）是一种广泛使用的技术，可以定量绘制材料表面的三维图。然而，原子力显微镜的精度受到显微镜探针尺寸的限制。为了突破这一限制，我们开发了一种新型人工智能技术，使显微镜在材料分析中达到更高的分辨率。

伊利诺伊大学香槟分校的研究人员开发的深度学习算法经过训练，可以从原子力显微镜图像中去除探针宽度的影响。据《纳米快报 》（Nano Letters）杂志报道， 该算法超越了其他方法，首次以低于显微镜探针尖端宽度的分辨率给出了真正的三维表面轮廓。