活性炭废气处理设备在处理过程中的关键技术参数包括：

1. 气体流速：根据活性炭的形态，颗粒状活性炭的气体流速宜低于0.50 m/s，装填厚度不宜低于300 mm；蜂窝活性炭的气体流速宜低于1.00 m/s，装填厚度不宜低于600 mm；活性炭纤维毡的气体流速宜低于0.15 m/s，装填厚度不宜低于90 mm。

2. 废气温度：进入活性炭吸附装置的废气温度宜低于40℃。

3. 废气浓度：进入活性炭吸附装置的废气中颗粒物含量宜低于1 mg/m³，相对湿度宜低于70%，有机物的浓度应低于其爆炸极限下限的25%。

4. 压力损失：吸附装置压力损失不大于2.5 KPa。

5. 活性炭碘值：颗粒活性炭的碘值不宜低于800 mg/g；蜂窝活性炭的碘值不宜低于650 mg/g。

6. 活性炭填充量：与每小时处理废气量体积之比应不小于1:5000。

7. 吸附剂的吸附容量：吸附容量是指吸附剂单位质量或单位体积的吸附物质最大负荷量。

8. 吸附速度：吸附速度是指吸附剂吸附废气中有机物质的速度。